當(dāng)前，微型零件的加工主要有光刻加工和機(jī)械加工兩種方法。光刻加工是以半導(dǎo)體制作技能為根底，用于微電機(jī)體系（Micro Electro-mechanical Systems--MEMS）的制作。光刻技能盡管較為老練，但存在被加工資料種類單一、加工設(shè)備貴重等疑問(wèn)，且只能加工布局簡(jiǎn)略的二維或準(zhǔn)三維零件，無(wú)法進(jìn)行雜亂三維微型零件的加工。

　　

微型機(jī)床（Micro Machine Tools--MMT）和微加工（Micro Machining--MM）是將傳統(tǒng)加工技能及裝備微型化，并用于微型零件批量出產(chǎn)的技能，也就是用小機(jī)床加工小工件的技能。微加工通常是指微型機(jī)床加工工件標(biāo)準(zhǔn)范圍在100～10mm、加工精度范圍在0.1～1的金屬或塑料零件的非光刻加工技能。桌面工廠（Desktop Factory--DTF）是由微型機(jī)床、微型機(jī)械手和運(yùn)送設(shè)備等組成的細(xì)小化工廠。微型機(jī)床和桌面工廠開(kāi)展的進(jìn)程和不一樣時(shí)代的典型產(chǎn)物如圖3所示。

 

微型機(jī)床因?yàn)轶w積小、慣性質(zhì)量小、發(fā)熱量小，因而具有能耗低、柔性大、效率高的長(zhǎng)處，能夠減小微型設(shè)備出產(chǎn)線的全體系標(biāo)準(zhǔn)規(guī)劃，既能夠節(jié)約能源又能夠節(jié)約制作空間和資源，契合節(jié)能、環(huán)保的需求，是綠色制作的開(kāi)展方向之一。