以00級大理石為基準面，將工作臺按照圖紙要求固定在大理石上，用打表的方法在00級大理石方箱進行找正，如圖2所示。 依據表頭指針的的讀數，導軌在豎直面內直線度較好，偏差僅有5μm，但在水平面內有來回擺動的趨勢。相比較而言，誤差在水平面比較敏感。試驗中導軌從一極限位置開始，運動140 mm，導軌在水平面內的運動軌跡如表1和圖3所示。 該測量儀是依據鏡頭捕捉被測工作的位置，由光柵尺讀取所測工件的長度。導軌在移動過程中呈現往復擺動，進而使固定在移動滑臺上的鏡頭往復擺動，會造成所測結果偏大或偏小。試驗中選取長度為80 mm的標準量塊，在不同位置測量誤差相差一百多微米。