2017年5月19日

中國也可以生產激光干涉儀了 - 加工中心

國產激光干涉儀了型號SJ6000品種激光干涉儀測量范圍40M最近工作距離0（mm）用途機床校準，水平面，垂直度測量SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對精工機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。1. 靜態測量SJ6000激光干涉儀的系統具有模塊化結構，可根據具體測量需求選擇不同組件。SJ6000基本線性測量配置：SJ6000全套系統：線性測量構建要進行線性測量，需使用隨附的兩個外加螺絲將其中的一個線性反射鏡安裝在分光鏡上，這個組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上，用它的反射光線形成激光光束的參考光路，另一束光入射到線性反射鏡，通過線性反射鏡的線性位移來實現線性測量。如下圖所示激光干涉儀可用于精密機床、三坐標的定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量。測量時在工作部件運動過程中自動采集并及時處理數據。SJ6000軟件內置10項常用機床檢驗標準，自動采集完數據后根據所選標準自動計算出所需誤差數據，為機床、三坐標的誤差修正提供依據。利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高。準直平臺/傾斜工作臺的測量由于角度鏡組的不同安裝方式，其測量結果代表不同方向的角度值。您可以結合實際需要進行安裝、測量。在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運動所產生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。1.1. 技術指標系統性能2測量方式：單頻2穩頻精度：0.05ppm2動態采集頻率：50 kHz2預熱時間：5-10分鐘2工作溫度范圍：0~38℃2環境溫度范圍：0~38℃，環境濕度：0~95%2存儲溫度范圍：-20℃~70℃ 環境補償示值誤差2空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃2材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃2空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)2大氣壓力傳感器：±0.1kPa 線性測量2測量距離：0-40m2測量精度：0.5ppm (0-38℃)2測量分辨率：1nm2測量最大速度：3m/sec 角度測量2軸向量程：0-15m2測量范圍：±10°2測量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）2測量分辨率：0.1″ 平面度測量2軸向量程：0-15 m2測量范圍：±1.5 mm2測量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）2基板尺寸：50mm、100mm、150mm測量分辨率：0.1μm 直線度測量2軸向量程：0.1-4.0 m2測量范圍：±3.5 mm2測量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m）2測量分辨率：0.01μm 垂直度測量2軸向量程：0.1-3.0 m測量范圍：±3.5mm2測量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m）2測量分辨率：0.01μm/m 回轉軸分度精度測量2角度測量范圍：0-360°2精密轉臺角度增量：5°2精密轉臺分度精度：±1″2精密轉臺重復性：0.2″1.2. 尺寸重量與供電2 便攜箱尺寸：560×360×250（基礎系統），560×460×270（完整系統）2 基本重量(含三腳架，包裝)：15Kg2 供電電源：110~265VAC 系統組件：1) SJ6000主機：1臺 2) 環境補償單元：1臺 3) 光學鏡組：線性測量光學鏡組：1套（標準配置）小型線性光學鏡組：1套（選配）小角度測量光學鏡組：1套（選配）直線度測量光學鏡組：1套（選配）垂直度測量光學鏡組：1套（選配）平面度測量輔助附件：1套（選配）回轉軸測量精密轉臺：1套（選配） 4) 測量軟件：1套 5) 便攜式筆記本電腦：1臺 6) 便攜式儀器配件箱：1個 7) 通用三腳架：1個 8) 云臺附件：1套 9) 磁性表座：2套 10) 產品使用說明書：1套 11) 產品合格證、保修卡：1套 12) 免費保修：1年 13) 校準證書（選配）激光頻率校準證書： 1）由深圳市計量質量檢測研究院出具； 2）由其它機構出具。環境補償單元校準證書： 1）由深圳市計量質量檢測研究院出具； 2）由其它機構出具。線性位移校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。直線度校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。小角度校準證書： 1）由中國計量院出具； 2）由其它機構出具。 14) 夏、冬實驗室工作服各1件（選配）

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