加工中心精度檢測儀器——激光干涉儀

在精度和穩定性日趨重要的今天，得到全球數以千計用戶認可的XL-30激光干涉儀系統是您的理想選擇。

• 性能指標

Renishaw 給出的精度指標是嚴格按照ISO 國際標準中關于測量不確定度的計算方法，綜合了激光穩定性、傳感器輸出等數值和所有影響最終測量的關鍵參數的基礎上給出的。整個系統精度的置信度達95% (k=2)，并且已經包括了實際使用中由于漂移帶來的誤差影響。

• 實際使用性能

世界范圍內數千臺ML-30 激光干涉儀的多年現場使用事實表明，在各種不同工作條件下，Renishaw 長期以來一直提供著滿足甚至高于其性能指標的激光干涉儀產品，這種性能表現已不斷經過第三方( 包括國內外的國家級計量院，如中國計量院、德國PTB、美國NIST、英國NPL 等) 的驗證。

• 精度的可溯源性

Renishaw 激光干涉儀的所有測量功能，包括直線度和角度等測量，都是基于激光干涉原理，具有對國際標準激光波長的溯源性。而那些利用電子標靶進行俯仰、扭擺和直線度誤差測量系統，會影響測量精度和穩定性。

• 分離的干涉鏡

Renishaw 的干涉鏡與激光頭分離開來，與那些將干涉鏡安裝在激光頭上( 內部) 的儀器相比，可有效避免熱漂移。

• 環境補償

激光測量中最大的不確定因素來自于環境條件( 氣壓、氣溫和濕度) 的變化。在典型條件下，這些變化可以給測量帶來多達± 20 ppm 的不確定度。Renishaw 的EC10 環境補償單元中使用了高精度的環境傳感器，從而其環境補償結果能夠使系統在0~40° C 的工作范圍內保持為± 0.7 ppm 的精度。

不同于以傳統四象限傳感器取代高精度激光波長基準來實現提高工作效率的作法，Renishaw 在保證激光波長溯源性的前提下，通過一系列針對精工設備專利設計的光學鏡及特定功能等來提高效率。

從儀器預熱準備，編制精工測量程序到最后更改機床參數，Renishaw 均有一系列獨特技巧。

•“ 取消”預熱功能

“預熱”是激光干涉儀測量前為保證儀器在精度范圍內工作而必須的準備過程。ML10 Gold 在短時間斷電后重新通電(如從一臺設備轉到另一臺設備測量)可立刻恢復工作狀態！

• 專利設計的激光準直輔助鏡

準直輔助鏡極大地簡化了激光光路準直必須調整三腳架的傳統方法。

• 程序自動生成與傳送

Renishaw LaserXL-30軟件內置有FANUC、SIEMENS 等多種精工系統的測量程序編程模塊，并提供與機床相通訊的接口功能以方便測試現場使用。

• 誤差補償表

不同的控制器有不同的誤差補償機理。LaserXL-30 軟件可根據不同要求產生誤差補償表，只需手工將有關計算結果鍵入精工系統即可。

• 自動誤差補償軟件

可從程序生成、傳送到修改機床補償參數實現自動化，在改善補償精度的同時

大幅節省檢測與補償時間。

• 效果

上述功能在一用戶現場，僅半天內便完成四臺加工中心共計12 根坐標軸的精度自動檢測與補償。從儀器預熱準備，編制精工測量程序到最后更改機床參數，Renishaw 均有一系列

獨特技巧。

X-Y 平臺校準(Danaher Precision Systems)頻率穩定性出廠測試精工機床精度校準三測機精度校準。

XL-30 激光干涉儀由于采用了獨特的專利設計及最新的光電子技術，比市場上其它型號的激光干涉儀具有更高的性能和更先進的任選功能；提供有進行機器位置、幾何精度測量的全套光學器件, 包括激光干涉儀的全部器件放在一個配小車的提箱內，一人便可攜帶全部系統赴異地進行機器精度檢定，大大改善了激光干涉儀的便攜性。XL-30 Gold 激光測量系統所有功能都可與LaserXL-30 軟件配合使用。通過接口與IBM 兼容的PC 機(包括筆記本計算機)連接。軟件控制靈活、直觀，既節省了測量時間，又避免了人為誤差，并能按國際上通行的標準進行數據分析處理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89、GB17421-2000 等。

除了測量和分析診斷功能外，此軟件包的標準配置還包括動態測量、旋轉軸測量、雙軸測量和電子水平儀及千分表程序接口模塊等。